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應(yīng)用領(lǐng)域及行業(yè)：
半導(dǎo)體工藝設(shè)備、等離子體處理、材料表面改性、LED與?太陽能光伏產(chǎn)業(yè)?、科學(xué)實(shí)驗(yàn)、醫(yī)療美容、常壓等離子體消毒清洗等

等離子體清洗、等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)、等離子體刻蝕、射頻離子源、等離子體擴(kuò)散、等離子體聚合濺射、薄膜沉積、硅晶鍍膜等

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